奥林巴斯显微镜MX63 / MX63L用于半导体

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  • 发布日期:2024-10-30
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北京荣兴光恒科技有限公司

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  • 所在地区:北京 昌平区
  • 家家通积分:28205分
详细参数
品牌 奥林巴斯 规格型号 MX63
编号 24502887 计量单位 1台
付款方式 面议 参考价格 面议
价格单位 人民币 供货量 不限
说明书,报价手册及驱动 暂无相关下载 其他资料下载 暂无相关下载
产地 日本 发货地 日本

产品详情

奥林巴斯显微镜MX63 / MX63L用于半导体
奥林巴斯显微镜MX63 / MX63L用于半导体
     


好的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像,让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。


从不可见到可见:MIX观察与图像采集

通过将暗场与诸如明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用,MIX观察技术能够获得独有的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在时间仅使用四分之一象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕,对于样品表面纹理的可视化非常有用。

半导体晶圆上的结构

Structure on semiconductor wafer - Brightfield

Plus

Structure on semiconductor wafer - Darkfield

Arrow

Structure on semiconductor wafer - MIX

集成电路图形不够清晰。

晶圆颜色不可见。

晶圆颜色和集成电路图形均清晰可辨。

半导体晶圆上的光刻胶残留物

Photoresist residue on a semiconductor wafer - Fluorescence

Plus

Photoresist residue on a semiconductor wafer - Darkfield

Arrow

Photoresist residue on a semiconductor wafer - MIX

样品本身不可见。

残留物不清晰。

集成电路图形和残留物均清晰可辨。

聚光镜

Condenser - Darkfield

Arrow

Condenser - Composite image

Arrow

Condenser - MIX

表面受到反射。

来自不同角度定向暗场的多幅图像。

将没有光晕的清晰图像拼接在一起,创建样品的单幅清晰图像。


轻松生成全景图像: 即时图像拼接

利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速完成图像拼接—电动载物台无需进行该操作。奥林巴斯Stream软件利用模式识别生成全景图像,让用户获得更宽的视场。

Easily Create Panoramic Images: Instant MIA

即时MIA图像


生成全聚焦图像: EFI

奥林巴斯Stream软件的景深扩展成像(EFI)功能可采集高度超出物镜焦点深度的样品图像,并可将其合成一幅全聚焦图像。EFI配合手动或电动Z轴调焦使用,可轻松实现结构可视化的高度图像。其也可在Stream桌面版(Desktop)离线情况下生成EFI图像。

Create all-in-focus images: EFI

集成电路芯片上的凸块


利用HDR同时捕捉明亮区域和暗光区域

采用先进图像处理技术的高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异,从而减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质,从而有助于生成具有专业级外观的报告。

Capture Both Bright and Dark Areas Using HDR 01

Arrow

Capture Both Bright and Dark Areas Using HDR 01

Capture Both Bright and Dark Areas Using HDR 02

Arrow

Capture Both Bright and Dark Areas Using HDR 02

某些部位存在眩光。

暗光区域和明亮区域利用HDR获得清晰呈现。

TFT阵列因滤色片的亮度而漆黑一片。

TFT阵列利用HDR获得呈现。


从基本测量到好的分析

测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法,即便是入门级奥林巴斯Stream软件包也融入了交互测量功能的全部菜单,并且所有测量结果与图像文件一起保存以便存档。此外,奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供面向工作流的直观界面。点击按钮一下,图像分析任务即可快速精准完成。在大幅度缩减重复性任务的处理时间情况下,操作人员可以将精力集中在手边的检测工作上。

From Basic Measurement to Advanced Analysis 01

基本测量(印刷电路板上的图形)

From Basic Measurement to Advanced Analysis 02

分散能力解决方案(PCB通孔的横截面)

From Basic Measurement to Advanced Analysis 03

自动测量解决方案(晶圆结构)

> 点击此处了解有关奥林巴斯Stream的详细信息


高效的报告创建

创建报告所用的时间常常比采集图像和测量还长。奥林巴斯Stream软件提供了直观的报告创建功能,能够根据预先设定的模板多次创建专业复杂的报告。编辑非常简单,报告可导出为MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外,奥林巴斯Stream报告功能能够对采集的图像进行数字变焦和倍率放大。报告文件大小适中,通过电子邮件进行数据传递更加方便。

Efficient Report Creation

> 点击此处了解有关奥林巴斯Stream的详细信息


独立相机选项

利用DP22或DP27显微镜相机,MX63系列即可成为先进的独立系统。该相机采用几乎不占空间的紧凑型控制盒进行控制,在采集清晰图像以及进行基本测量工作的同时让实验室空间得到充分利用。

Stand-Alone Camera Option

相机控制盒

> 点击此处了解有关DP27的详细信息

> 点击此处了解DP22的详细信息


支持洁净室合规性的先进设计

MX63系列专为洁净室工作而设计,并具有帮助很大限度减小样品污染或受损风险的功能。该系统采用人体工学设计,可帮助用户在长时间使用中保持舒适。MX63系列符合包括SEMI S2/S8、CE和UL国际规范及标准要求。

选配晶圆搬送机 — AL120系统* 

选配的晶圆搬送机可安装在MX63系列上,实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅片及化合物半导体晶圆从片盒转移到显微镜载物台上。的性能和可靠性可实现安全高效的前后宏观检测,同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。

Optional Wafer Loader Integration ― AL120 System

MX63系统与AL120晶圆搬送机结合使用(200毫米型号)

* AL120 未在欧洲、中东、非洲地区(EMEA)销售。


快速、清洁的检测

MX63系列可实现无污染的晶圆检测。所有电动组件均安装在防护结构壳内,显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩、及其他部件均采用防静电处理。电动物镜转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全,缩短检测间隔时间的同时,让操作人员的手始终保持在晶圆下方,避免了潜在的污染。

Fast, Clean Inspections 01

防静电呼吸防护罩

Fast, Clean Inspections 02

电动物镜转换器


系统设计实现高效观察

利用内置离合和XY旋钮,XY载物台能够实现对载物台移动的粗调和微调。即便针对诸如300毫米晶圆这样的大尺寸样品,载物台也可帮助实现高效的观察
可调倾角观察镜筒的调节范围可让操作人员以舒适的姿态坐在显微镜前工作。

System Design Achieving Efficient Observations 01

带有内置离合的载物台手柄

System Design Achieving Efficient Observations 02

可调倾角观察镜筒可确保舒适的工作姿态


接受所有晶圆尺寸

Accepts All Wafer Sizes

晶圆支架和玻璃板

该系统可配合各类150–200毫米和200– 300毫米晶圆支架和玻璃板使用。如果生产线上的晶圆尺寸发生变化,以很少的成本即可更改显微镜镜架。有了MX63系列,各种载物台均可用于检测75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圆。


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